EL級：優于美國SEMI C1、C2標準，控制1μm顆粒，控制十多個金屬元素，單項金屬元素控制在100ppb:
SD-I級：等同CMOS級，控制0.5μm顆粒，控制三十多個 金屬元素，單位項金屬元素控制在10~100ppb以下；
SD-II級：等同于行業中UP級，亦等同于美國SEMI C7標準，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在10ppb以下；
SD-III級：等同于行業中UPS級，亦等同于美國SEMI C8標準，控制0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在1ppb以下；
SD-IV級：等同于行業中UPSS級，控制0.2μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在0.1ppb以下。
*詳細規格及參照歡迎致電我司。
